Влияние высокотемпературного отжига на микроструктуру и механические свойства кристаллов β-Ga2O3:Fe
Аннотация
Микроструктура и механические свойства легированных объёмных кристаллов β‑Ga2O3:Fe (0.01 мол.%) исследованы с использованием рентгеновской дифракции, оптической спектроскопии пропускания и метода составного пьезоэлектрического осциллятора последовательно на двух стадиях отжига 1400 °C в атмосфере воздуха. Кривые качания показали существенную эволюцию микроструктуры с усложнением составляющих профиля после 6 часов отжига и значительном сужением и увеличением интенсивности основного максимума после 12 часов. Оптическое пропускание возросло в области длин волн меньше 650 нм и уменьшилось для длинноволновой. Были получены и охарактеризованы амплитудные зависимости внутреннего трения и эффективного модуля упругости. Показано изменение предела микропластичности при колебательной деформации и изменение фоновых значений этих величин, что указывает на уменьшение концентрации подвижных дефектов и структурное упорядочение в результате выскокотемпературного отжига. Эффективный модуль упругости, измеренный вдоль направления [–102] кристаллов β‑Ga2O3:Fe (0.01 мол.%) после отжига, составил 186,5 ГПа.
Ключевые слова
дефекты; внутреннее трение; эффективный модуль; оксид галлия; сверхширокозонный полупроводникФинансирование
Министерство науки и высшего образования РФ: проект № FSER-2025-0005
This is an open access article under the terms
of the CC BY-NC 4.0 license.
Metadata is available under the terms of the CC BY 4.0 license