ISSN 2687-0568

Влияние высокотемпературного отжига на микроструктуру и механические свойства кристаллов β-Ga2O3:Fe

Авторы
Д.А. Калганов 1 , Д.Ю. Панов 1 , В.А. Спиридонов 1 , А.Ю. Иванов 1 , И.Г. Смирнова 1 , Д.А. Бауман 1

1 Институт перспективных систем передачи данных, Университет ИТМО, Кронверкский пр., д. 49 лит. А, 197101, Санкт-Петербург, Россия

Rev. Adv. Mater. Technol., 2026, vol. 8, no. 2, pp. 73-80
Аннотация

Микроструктура и механические свойства легированных объёмных кристаллов β‑Ga2O3:Fe (0.01 мол.%) исследованы с использованием рентгеновской дифракции, оптической спектроскопии пропускания и метода составного пьезоэлектрического осциллятора последовательно на двух стадиях отжига 1400 °C в атмосфере воздуха. Кривые качания показали существенную эволюцию микроструктуры с усложнением составляющих профиля после 6 часов отжига и значительном сужением и увеличением интенсивности основного максимума после 12 часов. Оптическое пропускание возросло в области длин волн меньше 650 нм и уменьшилось для длинноволновой. Были получены и охарактеризованы амплитудные зависимости внутреннего трения и эффективного модуля упругости. Показано изменение предела микропластичности при колебательной деформации и изменение фоновых значений этих величин, что указывает на уменьшение концентрации подвижных дефектов и структурное упорядочение в результате выскокотемпературного отжига. Эффективный модуль упругости, измеренный вдоль направления  [–102] кристаллов β‑Ga2O3:Fe (0.01 мол.%) после отжига, составил 186,5 ГПа.

Ключевые слова
дефекты; внутреннее трение; эффективный модуль; оксид галлия; сверхширокозонный полупроводник
Финансирование

Министерство науки и высшего образования РФ: проект № FSER-2025-0005

Ссылки
Том 8 № 2 2026
Том 8, № 2
Страницы 73-80
История
© 2026 ITMO University.
This is an open access article under the terms
of the CC BY-NC 4.0 license.
Metadata is available under the terms of the CC BY 4.0 license