ISSN 2687-0568

Исследование оптических и структурных свойств тонких плёнок β-(AlxGa1–x)2O3, выращенных методом спрей-пиролиза

Авторы
X. Zhang , Д.Ю. Панов 1 , В.А. Спиридонов 1 , D.A. Bauman 1 , А.Е. Романов 1

1 Институт перспективных систем передачи данных, Университет ИТМО, Кронверкский пр. 49а, 197101 Санкт-Петербург, Россия

Rev. Adv. Mater. Technol., 2024, vol. 6, no. 2, pp. 62–66
Аннотация

В работе продемонстрирован синтез тонких пленок β-(AlxGa1–x)2O3 методом спрей-пиролиза. Определены температурные условия синтеза золя для получения тонких пленок с заданным содержанием алюминия. Пленки исследованы с помощью сканирующей электронной микроскопии, энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии и оптической спектроскопии. Содержание алюминия в изготовленных пленках β-(AlxGa1–x)2O3 составляет около 3,6 ат.%. Ширина оптической запрещенной зоны материала пленок определена как 5,0 эВ

Ключевые слова
β-(AlxGa1–x)2O3; тонкие пленки; золь-гель; спрей-пиролиз; оптическая запрещенная зона
Ссылки
Том 6, № 2
Страницы 62-66
История
© 2024 ITMO University.
This is an open access article under the terms
of the CC BY-NC 4.0 license.
Metadata is available under the terms of the CC BY 4.0 license